Светодиоды на основе структуры из нитрида галлия и нитрида индия-галлия — это полупроводниковые приборы, которые могут излучать свет от сине-фиолетового до зеленого и красного цветовых диапазонов. Они используются в системах освещения, хранения данных и связи. Благодаря высокой яркости, нано- и микросветодиоды востребованы для микродисплеев и микропроекторов на быстро развивающемся рынке технологий дополненной реальности. Для создания микро- и наноразмерных светодиодов чаще всего используется метод сухого травления больших светодиодов, т. е. удаления их бокового слоя химическими веществами и плазмой.
Одним из важнейших параметров оценки работы светодиода является внутренняя квантовая эффективность, которая показывает, насколько хорошо устройство преобразует электричество в свет. Из-за появления дефектов у структур без дополнительной обработки она составляет всего 5,5%. Чтобы решить эту проблему, используются различные методы: высокотемпературный отжиг, покрытие поверхности различными веществами и травление боковых стенок гидроксидом калия. Однако эти способы повышают эффективность лишь до 6,8%.
Работа открывает новые возможности к созданию более ярких и энергоэффективных осветительных приборов. Подробные результаты опубликованы в журнале Journal of Alloys and Compounds (Q1). Работа поддержана грантом Минобрнауки России (проект № 075-15-2022-1113).